等離子發射檢測器是一個靈敏度極高的通用型檢測器,其内部有一個設計獨特的,加載高頻高壓電場的石英腔體,在石英腔體兩端加上高頻、高強的電磁場,當載氣攜帶着經色譜柱分離的組份通過石英腔體時,在高壓、高強的電磁場的作用下,被高壓發生器電離,産生一種叫做場緻發光的熒光現象并發射出特征譜線,載氣及組份一起被電離,形成等離子體。不同的組份在等離子體中會發出不同波長的光輻射,發射譜線随着載氣中不同物質而發生變化,經過濾光和光電轉化得到色譜信号與氣體組份的含量成正比。檢測器産生的光信号被光學系統檢測到,光學系統包括濾光片和光電二極管,濾光片會根據波長選擇性地濾出光信号,并通過光電二極管轉化爲電信号,經信号電壓發大器将信号放大到分析所需的程度。用這種光發射技術來對樣品進行定量分析。

NanoChrome
(H2, N2, Ar, CH4, CO, CO2, NMHC)
采用了最先進的氣體檢測技術和信号處理方法,徹底革新了半導體行業中超微量高純氣體的檢測
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