大宗氣體連續品質控制系統,這個系統由分析儀，機櫃，管道，調壓閥，PLC,等去運行分析設備，去監測N2/O2/AR/HE/H2 中水氧及THC 含量,大宗氣體在經純化及過濾後應對其進行品質監測，觀察其純度與顆粒度的指標是否已高於實際的製程要求。目前着重對氣體中的氧含量、水含量和顆粒度進行在線連續監測，而對CO、CO2及THC雜質採用間歇監測，測試結果連同其他測試參數（諸如壓力、流量等）都會被送往控制室中的SCADA（Supervisory Control and Date Acquisition）系統。