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大宗气体连续品质控制系统

大宗气体连续品质控制系统,这个系统由分析仪,机柜,管道,调压阀,PLC,等去运行分析设备,去监测N2/O2/AR/HE/H2 中水氧及THC 含量,大宗气体在经纯化及过滤后应对其进行品质监测,观察其纯度与颗粒度的指

是否已高於实际的製程要求。目前着重对气体中的氧含量、水含量和颗粒度进行在线连续监测,而对CO、CO2及THC杂质採用间歇监测,测试结果连同其他测试参数(诸如压力、流量等)都会被送往控制室中的SCADA(Supervisory Control and Date Acquisition)系统。



 
 
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